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真空除气炉的构成介绍

真空测量装置：采用复合真空计，使测量准确。

加热烘烤组件：采用铠装管加热，包括工件托盘及支架，硅片除气装置，箱室顶部中心测温。功率：9.5千瓦，控制精度：±1℃。

管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了---的物质基础。

真空获得系统单元由前级泵、分子泵、管道阀门等组成。

前级泵：选用涡旋干式真空泵，无油运行，硅片除气装置公司，可为真空箱室提供洁净的真空环境。

分子泵：选用脂润滑复合分子泵，可为真空箱室提供高真空和洁净的真空环境。

管道阀门：真空阀门、真空管道均采用304不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了---的物质基础。

真空除气炉、真空存储柜的使用环境

使用环境

　设备占地面积约：长2米，宽1.6米约3.2平米高1.95米；

　电源：380 v±38 v，硅片除气装置生产厂家，50 hz±0.5 hz，约15kw外部电源用户自备；

　工件要求：无油污，无腐蚀性物质；

　环境温度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

　相对湿度：  20%-85%；

　设备应安装在通风---的厂房内。